キヤノンＭＪ、米Ｍａｔｔｓｏｎ社と半導体製造装置分野における提携関係を強化
キヤノンマーケティングジャパンが米国Ｍａｔｔｓｏｎ社との提携関係を強化
～Ｍａｔｔｓｏｎ社製アッシング装置の国内独占販売権を取得～
このほどキヤノンマーケティングジャパン株式会社（社長：村瀬治男、以下キヤノンＭＪ）は、米国Ｍａｔｔｓｏｎ社（Ｍａｔｔｓｏｎ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ， Ｉｎｃ．、社長：Ｒｏｂｅｒｔ Ｂ． ＭａｃＫｎｉｇｈｔ）と半導体製造装置分野における提携関係を強化し、同社製アッシング装置の日本国内における独占販売契約を締結しました。
アッシング装置は、半導体の製造工程において回路パターンを形成するために、マスクとしてレジスト（感光材）をパターニングし、エッチングプロセスにより回路の形成をした後に不要となったレジストを除去する装置です。レジストの主成分である炭素や酸素、水素といった物質をプラズマ化したガスと反応させることで分解します。
キヤノンＭＪは、これまで半導体製造装置や液晶パネル製造装置、計測装置など、様々な半導体関連機器を提供し、Ｍａｔｔｓｏｎ社とも２００１年１月から同社製ＲＴＰ装置（※）の国内独占販売契約を結んでいますが、今回新たに、その契約製品の範囲をアッシング装置にまで拡大するものです。
これによりキヤノンＭＪは、高度なプロセス性能や高スループット、最小フットプリント（占有床面積）、優れたメンテナンス性能などを備えたＭａｔｔｓｏｎ社製アッシング装置をラインアップに加えるとともに、これまで培ってきたアッシング装置事業の販売、技術サポートのノウハウを活かしながら、最先端の半導体製造プロセスの課題解決に貢献していきます。アッシング装置の事業目標として、今後３年間で売上１２０億円を目指します。
※ Ｒａｐｉｄ Ｔｈｅｒｍａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ（急速昇降温加熱装置）の略で、高温での熱処理が必要な半導体の製造工程において、ランプ加熱によりウエハーに１枚ずつ急速な熱処理を施すための装置です。
【Ｍａｔｔｓｏｎ社の概要】
社名： Ｍａｔｔｓｏｎ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ， Ｉｎｃ．
本社所在地：４７１３１ Ｂａｙｓｉｄｅ Ｐａｒｋｗａｙ Ｆｒｅｍｏｎｔ， ＣＡ ９４５３８
社長： Ｒｏｂｅｒｔ Ｂ． ＭａｃＫｎｉｇｈｔ
設立： １９８８年
従業員数： 約６０２名
事業内容： アッシング装置、ＲＴＰ装置の設計・製造・販売・技術サポートおよびサービス
主製品： アッシング装置、ＲＴＰ装置
ＵＲＬ ： www.mattson.com
【この件に関する問い合わせ先】
キヤノンマーケティングジャパン株式会社
産業機器第二販売推進部
〒１０８－８０１１ 東京都港区港南２－１６－２
ＴＥＬ：０３－３７４０－３３４９ ＦＡＸ：０３－３７４０－３４２８