ニコン、高精細な中小型液晶ディスプレー製造に最適な液晶露光装置を発売
高精細ディスプレイ製造に最適な露光装置
ニコン 液晶露光装置 ＦＸ－８０３Ｍ、ＦＸ－９０３Ｎ の発売について
株式会社ニコン（社長：苅谷道郎）は、「液晶露光装置ＦＸ－８０３Ｍ、ＦＸ－９０３Ｎ」２機種を開発、２００７年４月から受注を開始いたします。
ＦＸ－８０３Ｍ、ＦＸ－９０３Ｎは、携帯電話や車載用途として今後、更なる需要拡大の見込まれる高精細な中小型液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）製造に最適な液晶露光装置です。
ＦＸ－８０３Ｍは従来機種に対して生産性を１０％以上向上、またＦＸ－９０３Ｎは、ＦＸ－８０３Ｍと同様に高生産性を達成すると共に、新開発の大口径ｉ線レンズの搭載により、解像度１．５μｍを実現いたしました。
●販売概要
商 品 名：ニコン液晶露光装置「ＦＸ－８０３Ｍ」「ＦＸ－９０３Ｎ」
受注開始時期：２００７年４月より
●開発の背景
地上デジタル放送の普及、デジタルカメラ機能における高メガピクセルＣＣＤの搭載などにより、携帯電話やカーナビゲーションの液晶ディスプレイに対して「より美しい画像、より鮮明な動画を」という要求がますます増えています。
ＦＸ－８０３Ｍ、ＦＸ－９０３Ｎは、これら高精細な中小型液晶ディスプレイ生産の為に高解像度、高精度アライメント、高生産性を実現する露光装置として開発いたしました。
また、露光方式としては、中小型液晶ディスプレイ生産に実績のあるステッパー方式を採用しています。
●ＦＸ－８０３Ｍ、ＦＸ－９０３Ｎの主な特長
１．ステッパー方式で大型プレートに対応
７３０ｍｍ×９２０ｍｍクラスの大型プレートサイズに対応します。
（２型パネルを１プレートから２９４面、４型パネルであれば８４面取りが可能。）
２．高精細液晶ディスプレイ製造を実現
ステッパー方式と高精度な６インチレチクル採用により高アライメント精度を達成したこと、さらにＦＸ－９０３Ｎでは、新開発の大口径かつ低収差ｉ線投影レンズの採用により１．５μｍの高解像度を達成。これらにより高精細液晶ディスプレイの効率的な製造を実現します。
３．多品種生産に対応
露光機のレチクルライブラリはオプションにより、最大６０枚まで装填が可能となり、多品種パネル生産にも対応します。
＜主な仕様＞
添付資料をご参照ください。
この件に関するお問い合わせ先
●お客様の問い合わせ先：
株式会社ニコン 精機カンパニー マーケティング部商品企画課
１００－８３３１ 東京都千代田区丸の内３－２－３（富士ビル） ０３－３２１６－１３４４