ニコン、縮小投影型露光装置「ＮＳＲ－ＳＦ１５０」を発売
新プラットフォーム採用により超高スループットと重ね合わせ精度の向上を実現
ニコン 縮小投影型露光装置 「ＮＳＲ－ＳＦ１５０」の発売について
株式会社ニコン（社長：苅谷道郎）は、次世代ＤＲＡＭやＭＰＵのノンクリティカルレイヤ露光に威力を発揮する、ｉ線スキャンフィールドステッパー「ニコン 縮小投影型露光装置 ＮＳＲ－ＳＦ１５０」を開発し、２００７年２Ｑから販売を開始します。 高い生産性実現のため、ニコンは新しいプラットフォーム：スカイフック構造を確立しました。スカイフック構造とは、投影レンズを吊り下げることで、床からの振動をシャットアウトし、大幅な振動低減を実現するものです。このスカイフック構造に加え、チャンバー内の空気の安定性向上、レチクルステージレス化とウェハステージの軽量化によりステージの高速化を実現しました。その結果、重ね合わせ精度の大幅向上と共に３００ミリウェハで毎時１８０枚以上の高スループットを実現、従来機種比約５４％の向上を果たしました。
●販売概要
商品名 ニコン 縮小投影型露光装置「ＮＳＲ－ＳＦ１５０」
販売開始時期 ２００７年２Ｑ（２００７年４月～６月）
●開発の背景
ニコンは、２０００年１月、ＤＵＶエキシマステッパーとのミックス＆マッチに主眼 を置いたｉ線スキャンフィールドステッパー「ＮＳＲ－ＳＦ１００」を業界に先駆けて開発しました。全レイヤの約半分を占めるノンクリティカルレイヤの露光に最適化した「ＮＳＲ－ＳＦ１００」は、ＤＵＶエキシマステッパーと共通化した縮小倍率と露光領域、十分な解像度や高スループットなど、コストパフォーマンスに優れた露光装置です。以来、「ＮＳＲ－ＳＦ１００」とその後継機は、生産性の向上と製造ラインのトータル投資コストの低減に貢献し、「ＳＦシリーズ」としての累積販売台数は、３００台を超えるに至りました。
今回発表する「ＮＳＲ－ＳＦ１５０」は、新プラットフォーム：スカイフック構造を採用したことにより、大幅な振動低減を果たし、重ね合わせ精度とスループッ トの大幅な向上を実現しました。
●主な性能
解像度 ２８０ｎｍ以下
ＮＡ（開口数） ０．６２
光源 ｉ線（波長３６５ｎｍ）
縮小倍率 １／４倍
露光領域 ２６×３３ｍｍ
重ね合わせ精度 ２５ｎｍ以下（Ｍ＋３σ）
スループット ３００ｍｍウェハ毎時１８０枚以上（露光量 ２００ｍＪ／ｃｍ２）
●主な特長
１． 超高スループット化
ステッパーに最適な新プラットフォーム：スカイフック構造と軽量ウェハステ ージの採用により、大幅な振動低減とステージの高速化を実現。その結果、３００ミリウェハで、１時間あたり１８０枚以上（当社従来機種比、約５４％向上）の超高スループットを可能にしました。
２．重ね合わせ精度の大幅向上
スカイフックプラットフォームの採用に加え、一括型ステッパーでは、初めてカウンターマスを採用、また空調ダクト配置の見直しによるチャンバー内の空気安定化やレチクルステージレス化に成功したことにより重ね合わせ精度２５ナノメートル以下（当社従来機種比、約３０％向上）を実現しました。
３．トータル投資コストの低減に貢献
超高スループットの実現とコンパクトなフットプリントにより製造ラインにおけるトータル投資コストの低減に貢献します。
●お客様の問い合わせ先：
株式会社ニコン 精機カンパニー マーケティング部商品企画課
１００－８３３１ 東京都千代田区丸の内３－２－３（富士ビル）
０３－３２１６－１３４４