2006/09/01 東芝セラミックス、３００ｍｍのシリコンウエハー製造能力増強で約１５０億円投資

東芝セラミックス、３００ｍｍのシリコンウエハー製造能力増強で約１５０億円投資

３００ｍｍ　シリコンウエハー製造能力増強について


　　記

　東芝セラミックス（株）（本社：東京都品川区大崎１－６－３、社長：香山晋）は、３００ｍｍ　シリコンウエハーの旺盛な市場要請に対応するため、段階的な能力増強を継続することに致しました。

　弊社はかねてから、現状の月産４万枚体制から、２００７年９月度には月産５万枚への能力増強を計画してまいりましたが、３００ｍｍ　アニールウエハーの品質・コスト面での優位性が確認され、内外主要ユーザーの需要も明確になったことから、中長期的にも安定した事業運営が可能と判断し、２００８年３月度を目処に引き続いて月産５万枚の能力を追加・増強することとしたものです。

　当該設備投資は、当社１００％子会社で、３００ｍｍ　シリコンウエハーの主力工場である新潟東芝セラミックス株式会社にて行います。市場動向・客先要求に適切に対応した柔軟、かつ段階的な立ち上げを実施する計画ですが、今回の月産１０万枚体制実現に相当する総投資額は約１５０億円を見込んでおります。

　アニールウエハーは、通常のポリッシュトウエハーと異なり、アニール用として最適設計された基板ウエハーに高精度のアニール処理を施すことにより、半導体素子を形成する表面層の欠陥を完全に除去することを可能とするもので、今後の超微細加工に不可欠な表面平坦度の点でもエピタキシャルウエハーよりも優れた特性が確認されております。

　弊社はこれまでもアニールウエハー技術のパイオニアとして高い評価を戴いておりますが、ディスクリート半導体やアナログデバイス用途のエピタキシャルウエハーやＳＯＩ等も含め、技術的付加価値の高いウエハー事業を今後も独自に展開し、特長あるウエハーの供給を行っていきます。

以上

● 関連リンク

• 東芝セラミックス（株）　ホームページ