大日本スクリーン、枚葉式ウエハー洗浄装置の新機種「ＳＵ－３１００」を発売
枚葉式ウエハー洗浄装置の新機種「ＳＵ－３１００」を発売
～８台のチャンバーを搭載可能、毎時３００枚の高生産性を実現～
大日本スクリーン製造株式会社（本社：京都市上京区）の半導体機器カンパニー（社長：末武 隆成）は、独自の技術で洗浄効率と生産性を向上させた３００ミリウエハー対応枚葉式洗浄装置「ＳＵ－３１００」を、２００６年１２月から販売します。
微細化が進む半導体業界では、線幅６５ナノメートルのデバイスの量産が本格化しており、２００８年に始まると予想される４５ナノメートルプロセスによる生産を見据えた開発も活発になっています。そのため各半導体メーカーでは、特に製造工程の約４分の１を占める洗浄処理において、より高いレベルの洗浄性能と生産性を兼ね備えた装置が求められており、枚葉式洗浄装置に対するニーズが年々高まっています。
今回発売する「ＳＵ－３１００」は、業界のこのような世界的動向に応えるもので、「ＳＵ－３０００」で培った洗浄技術をさらに発展させるとともに、各部のウエハー搬送速度の高速化により、高いレベルの洗浄性能と生産性を同時に実現した新機種です。最大８台のチャンバーの搭載を可能とした新プラットホームと高速ウエハー搬送システムの開発により、毎時３００枚の処理能力を実現。また、用途に合わせた２タイプのマルチプロセスチャンバーを新たに開発し、さらなる微細化に対する高度な処理をはじめ、顧客からの幅広いニーズに対応します。さらに、高精度の流量制御を可能にした新ミキシング機能「ＤＤＩ（Ｄｙｎａｍｉｃ Ｄｉｒｅｃｔ Ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ）システム」を搭載することにより、多様化するプロセスに対応するとともに、処理の効率化を実現しています。このほか、装置の使用目的や使用薬液により、別置の薬液用キャビネットが不要なオールインワンコンセプトを採用した仕様を選択することもできます。
当社は、今回の「ＳＵ－３１００」の発売により製品ラインアップを一層強化し、高度化と多様化の進む顧客ニーズに柔軟に対応するとともに、国内外における半導体洗浄装置のさらなるシェアの拡大を目指します。
＊この装置は、１２月６日から８日まで千葉「幕張メッセ」で開催される「ＳＥＭＩＣＯＮ Ｊａｐａｎ ２００６」において、当社ブースの専用コーナーでご紹介します。
＜販売開始予定＞
２００６年１２月
＜国内希望販売価格（消費税別）＞
約３億円～
※価格は仕様により異なります。
＜年間販売台数（２００７年度）＞
５０台