オリンパス、３Ｄ画像で素早く観察・計測できる走査型共焦点レーザー顕微鏡を発売
さらに簡単に、さらに高精度に
走査型共焦点レーザ顕微鏡「ＬＥＸＴ（レクスト） ＯＬＳ３１００」発売
操作性と高性能で工業分野における微細表面形状観察・計測の効率化に貢献
オリンパス株式会社（社長：菊川 剛）は、半導体や先端素材などの微細表面形状を３Ｄ画像でスピーディに観察・計測できる走査型共焦点レーザ顕微鏡「ＬＥＸＴ ＯＬＳ３１００」を２００７年１月２５日に世界同時発売いたします。２００４年１月から販売している「ＬＥＸＴ ＯＬＳ３０００」は高分解能と多彩な観察方法が好評で、全世界でレーザ顕微鏡のスタンダード機となりました。今回発売する「ＬＥＸＴ ＯＬＳ３１００」は前モデルの高性能は保持しつつ、マニュアル操作を極力排除し誰にでもやさしい操作性を実現しました。また、独自の技術により世界最高レベルの測定繰り返し性＊を実現、測定機としての信頼性も高めました。当製品の販売により、オリンパスは最先端の研究開発や品質管理において新たな効率化に貢献していきます。
＊繰り返し性： 同じ標本を同じ人が同じ装置で短時間に測定した場合に得られる結果。
なお、「ＬＥＸＴ ＯＬＳ３１００」は１月１７日（水）～１９日（金） に東京ビッグサイトで開催される「第２４回エレクトロテスト・ジャパン」のオリンパスブース（東３ホール ４－３）にて展示致します。
【 発売の概要 】
製品名：走査型共焦点レーザ顕微鏡「ＬＥＸＴ ＯＬＳ３１００」
価格（税込み）：１２，１８０，０００円～
発売日：２００７年１月２５日
目標販売台数（世界）：２００台／年
【 主な特長 】
１、理想的な３Ｄ画像がクリック一つで取得可能
２、世界最高レベルの分解能と繰り返し性で、より信頼性の高い計測データを提供
３、多彩な観察法、自在な３Ｄ表示によりあらゆる試料の観察・解析に対応
【 市場導入の背景 】
走査型共焦点レーザ顕微鏡は、高密度化する半導体や先端素材、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ：微小電気機械システム）などの微小領域を非接触・非破壊で三次元形状計測できる装置として年々注目が高まっています。当社は、２００４年１月の「ＬＥＸＴ ＯＬＳ３０００」の導入に合わせ、「Ｌａｓｅｒ」と「Ｎｅｘｔ ｇｅｎｅｒａｔｉｏｎ」を掛け合わせた「ＬＥＸＴ」という新ブランドを創設いたしました。昨今では工業分野における市場の成長に伴い、より幅広い分野で微小領域における三次元形状計測が求められています。また、技術の高度化に伴い品質管理への要求レベルも年々高まる中、当社は「さらに使いやすくよく見えるレーザ顕微鏡を次世代へも提供していく」という強い思いを「ＬＥＸＴ」ブランドに込めています。この度発売する「ＬＥＸＴ ＯＬＳ３１００」では、これらのニーズに対応すべく”さらに簡単に、さらに高精度に”というコンセプトのもと、誰にでも常に最高のアウトプットが出せるレーザ顕微鏡として開発されました。
【 主な特長の詳細 】
１、理想的な３Ｄ画像がクリック一つで取得可能
従来は３Ｄ画像の取得には、試料の高さに応じ取り込みの上下限を設定する必要がありました。また画像を取り込んだ後には、最適な画像にするために画像補正の作業も必要でした。「ＬＥＸＴ ＯＬＳ３１００」は「３Ｄ取込ボタン」をクリックするだけで自動的に試料の高さを認識、同時に明るさやコントラストも自動補正し最適な３Ｄ画像を取得できます。慣れが必要とされる設定や作業を排除したことによりオペレータの負担を軽減するとともに、個人差による測定誤差を無くし業務の効率化に貢献します。
２、世界最高レベルの分解能と繰り返し性で、より信頼性の高い計測データを提供
４０８ｎｍ専用の光学系（バイオレットオプトシステム）が、短波長光源で発生しやすい収差を抑え、世界最高レベルの平面分解能を保持しています。また、独自の光学技術とソフトのアルゴリズム改善により、高さ計測における測定繰返し性を前機種よりさらに向上させ、測定機としての信頼性を大幅に高めました。
３、多彩な観察法、自在な３Ｄ表示によりあらゆる試料の観察・解析に対応
通常の顕微鏡観察である明視野、微分干渉観察に加え、高分解能のレーザ共焦点観察、さらにはＳＥＭ（Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：走査型電子顕微鏡）に匹敵する観察が可能なレーザ微分干渉観察などさまざまなアプリケーションに対応できる観察法を搭載しています。また取り込んだ３Ｄ画像は多彩な表現方法とマウスによる自由なアングル変更により視覚的に最も効果の得られる３Ｄ表示が行えます。
【 本件に関するお問い合わせ先 】
○一般の方：オリンパス株式会社 ＭＩＳ営業２部 工業営業支援Ｇ 高橋
ＴＥＬ ０３－６９０１－４７９６（ダイヤルイン）
〒１６３－０９１４ 東京都新宿区西新宿２－３－１ 新宿モノリス
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