アジレント、不揮発性メモリセルの特性評価時間を短縮するソフトなど発表
不揮発性メモリセルの耐久試験時間を数日から数時間にまで短縮
パルスジェネレータおよび特性評価向けのソフトウェアを拡張
アジレント・テクノロジー株式会社（社長：海老原 稔、本社：東京都八王子市高倉町９番１号）は、「Ａｇｉｌｅｎｔ Ｂ１５００Ａ 半導体デバイス・アナライザ」および半導体パラメトリック解析ソフトウェア「ＥａｓｙＥＸＰＥＲＴソフトウェア」向けに新たなハードウェアおよびソフトウェアを発表します。今回発表の製品は、最先端の不揮発性メモリセルおよび次世代半導体デバイスのテストや特性評価にかかる時間を短縮するものです。
このたび、ＥａｓｙＥＸＰＥＲＴを搭載したＢ１５００Ａは、２種類の高電圧半導体パルスジェネレータ・ユニット（ＨＶ－ＳＰＧＵ）モジュールに対応します。これは最先端の不揮発性メモリセル評価の要求に対応したものです。特に研究用途に向けた製品で、単体測定器で不揮発性メモリセルのテストを行なうことができる業界初のソリューションとなります。
今回の製品投入により、当社では研究向けのＢ１５００Ａから量産向けのＡｇｉｌｅｎｔ ４０８０（２００７年４月発表）まで、不揮発性メモリセル評価用のパルスソリューションを幅広く提供できるようになりました。両プラットフォームで共通のパルスモジュールを使っているため再現性に優れ、開発から量産への移行も容易となります。これらのソリューションは、最先端の不揮発性メモリを開発しているお客様と協力して開発したものです。
さらに、Ａｇｉｌｅｎｔ Ｂ１５００Ａに標準搭載のＥａｓｙＥＸＰＥＲＴソフトウェアの機能も大幅に拡張し、高誘電率（ｈｉｇｈ－ｋ）材料を用いた絶縁膜評価などに必要なＱＳＣＶ測定に対応します。また、デスクトップ版のＥａｓｙＥＸＰＥＲＴについては、新たにＡｇｉｌｅｎｔ ４１５５Ｂ／Ｃおよび４１５６Ｂ／Ｃ半導体パラメトリックアナライザにも対応、さらに多くのユーザが統合されたパラメトリック・テスト環境を利用できるようになります。
長期間使われる最終製品の信頼性を確保する上で、不揮発性メモリセルの書き込み／消去性能のパラメトリック特性評価は不可欠となっています。たとえば、最新のフラッシュメモリのプロセスでは、チャージ・トラップ・フラッシュ（ＣＴＦ）やマルチレベル・セル（ＭＬＣ）といった最新技術が使われると同時に、大きさもますます小さくなっています。これらの最先端技術では、不揮発性メモリ特性のより厳密な評価が必要となっています。
Ａｇｉｌｅｎｔ Ｂ１５００Ａは、ＭＲＡＭ、ＰＲＡＭ、ＲＲＡＭ、ＮＡＮＤ、ＮＯＲフラッシュなどの最新の不揮発性メモリ技術の要求に対応した単体測定器です。たとえば、２０Ｖを超える電圧レベルのパルスや、立ち上がり／立ち下がりの正確な制御を行なうことができます。ＥａｓｙＥＸＰＥＲＴ搭載のＢ１５００ＡおよびＨＶ－ＳＰＧＵを使うと、不揮発性メモリセルの耐久試験を従来の１０倍以上、高速に行なうことができるようになります。
半導体パラメトリックテスト事業部長の海老原 稔は次のように語っています。「当社は、次世代の課題に取り組むお客様のニーズに合わせて計測ソリューションを継続的に改良を続けております。このたび発表いたしましたＡｇｉｌｅｎｔ Ｂ１５００ＡおよびＥａｓｙＥＸＰＥＲＴの改善は、さまざまな最新デバイスの評価に必要な機能や性能を実現したものです。当社のお客様は、使い慣れたＥａｓｙＥＸＰＥＲＴ環境から、その他の半導体パラメータ・アナライザを制御いただけるようになりました。」
●不揮発性メモリおよびＭＯＳＦＥＴテスト用の新ハードウェア・モジュール
今回の機能拡張により、Ａｇｉｌｅｎｔ Ｂ１５００Ａは最先端の不揮発性メモリセル評価ニーズに対応すべく、ＨＶ－ＳＰＧＵモジュールおよびアドバンストＨＶ－ＳＰＧＵモジュールに対応しました。両ＨＶ－ＳＰＧＵは、モジュールごとに２つのチャンネルを有しています。最大５個のモジュールをＢ１５００Ａに搭載することが可能です。両モジュールとも、２０ナノ秒の立ち上がり／立下り時間、２ｍＶの電圧分解能で、±４０Ｖのパルス（８０Ｖ ピーク・トゥ・ピーク）を出力することができます。さらに、アドバンストＨＶ－ＳＰＧＵでは、簡単な設定で複雑な波形を生成したり、チャネルごとに３値パルスやオープン・ステート・パルスを生成したりできる機能を搭載しています。業界をリードするＨＶ－ＳＰＧＵのパルスレベルの正確さにより、信頼性の高いＭＬＣメモリ評価が可能となります。
●完全な単体計測器パラメトリック・テスト・ソリューション
ＥａｓｙＥＸＰＥＲＴソフトウェアの最新版であるＥａｓｙＥＸＰＥＲＴ ３．０は、Ｂ１５００Ａのパラメトリック測定機能を高める新機能を搭載しています。ＤＣ ＩＶから５ＭＨｚのＣＶ測定まで幅広い測定を１台の測定器で簡単に行なうことが可能となります。
ＥａｓｙＥＸＰＥＲＴ ３．０は、Ｂ１５００Ａ上のＳＭＵリソースを使ったＱＳＣＶ測定に対応します。
１ＫＨｚから５ＭＨｚの範囲で容量対電圧の測定ができるマルチ周波数容量測定ユニットとの併用により、Ｂ１５００Ａは、ＱＳＣＶから５ＭＨｚまでに対応するＣＶ測定機能を実現する業界で唯一の測定器となります。
ＥａｓｙＥＸＰＥＲＴ ３．０はダイレクトコントロール・モードに対応しています。この機能は、ＥａｓｙＥＸＰＥＲＴのユーザインタフェースからＢ１５００Ａに直接Ａｇｉｌｅｎｔ ＦＬＥＸコマンドを送ることができるアプリケーションテスト作成に役立つものです。
これにより、ＥａｓｙＥＸＰＥＲＴのクラシックテスト・モードでは対応していなかった機能も含め、Ｂ１５００Ａのすべての機能を制御できるようになりました。
ＥａｓｙＥＸＰＥＲＴ ３．０では、パラレルでのタイミング・オンザフライＮＢＴＩ（負バイアス温度不安定性）テストにも対応しました。最新の半導体プロセスの信頼性評価では、ＮＢＴＩテストは不可欠となっています。当社は業界で初めて、この機能を単体計測器で実現しました。
２００７年６月には、当社は外部のＰＣからＢ１５００Ａを制御可能な高機能のデスクトップＥａｓｙＥＸＰＥＲＴソフトウェアの最新版を無償提供する予定です。デスクトップＥａｓｙＥＸＰＥＲＴ ３．０は、４１５５Ｂ、４１５６Ｂ、４１５５Ｃ、４１５６Ｃ 半導体パラメータアナライザの基本的なＩＶ測定制御も可能となります。これらの機器のユーザもＥａｓｙＥＸＰＥＲＴソフトウェアを使って生産性を高めることが可能になると同時に、Ｂ１５００Ａと同様のパラメトリック・テスト環境を構築することができるようになります。
【 販売方針 】
＊参考販売価格：ＥａｓｙＥＸＰＥＲＴ ３．０ 無料
デスクトップＥａｓｙＥＸＰＥＲＴ ３．０ 無料
ＨＶ－ＳＰＧＵ １２０万円～２４０万円
＊販売開始日：ＨＶ－ＳＰＧＵ ２００７年７月１日
＊出荷開始時期：ＥａｓｙＥＸＰＥＲＴ ３．０ソフトウェア ２００７年６月
Ｂ１５００用 ＨＶ－ＳＰＧＵ ２００７年１２月予定
Ａｇｉｌｅｎｔ Ｂ１５００Ａの高解像度画像は以下のウェブサイトからダウンロードいただけます。
http://www.agilent.com/find/B1500A_image
◆お客様からのお問い合わせ先：
計測お客様窓口 電話：０１２０－４２１－３４５
アジレント・テクノロジーについて
アジレント・テクノロジー（ＮＹＳＥ：Ａ）は、コミュニケーション、エレクトロニクス、ライフサイエンス、化学分析市場における世界のプレミア・メジャメント・カンパニーであり、またテクノロジー・リーダーでもあります。１９，０００名の従業員を擁し、１１０カ国以上でビジネスを展開しています。アジレントは、２００６年度、５０億ドルの売上高を達成しました。アジレント・テクノロジーの情報は、以下のウェブサイトでご覧ください。
http://www.agilent.co.jp