大日本スクリーン、滋賀県の半導体製造装置新生産工場「Ｆａｂ．ＦＣ－２」が竣工
半導体製造装置の新たな生産工場が完成
～ウエハー洗浄装置の需要増大に対応～
大日本スクリーン製造株式会社（本社：京都市上京区）の半導体機器カンパニー（社長：末武 隆成）は、当社彦根地区事業所（滋賀県彦根市高宮町４８０－１）の敷地内で２００６年４月から進めていた半導体製造装置の新たな生産工場「Ｆａｂ．ＦＣ－２（ファブ・エフシーツー）」の建設をこのほど終え、明日しゅん工します。
デジタル家電やメモリーカードなど民生用電子機器の市場拡大、また新興国におけるパソコンや携帯電話の需要の拡大など、半導体業界は安定した成長が見込まれており、大手デバイスメーカーでは活発な設備投資が今後も続くと予想されています。そのため、半導体に関連する装置メーカーでは、今後の需要の拡大に対応できる生産体制の構築が急務となっています。
今回建設した新工場「Ｆａｂ．ＦＣ－２」は、このような半導体業界の動向を受け、バッチ式をはじめとするウエハー洗浄装置の生産増強に対応するもので、当社グループにとって４カ所目の半導体製造装置の生産工場となります。２００１年に同じ彦根地区事業所内に建設した「Ｆａｂ．ＦＣ－１（ファブ・エフシーワン）」と合わせた生産能力は従来の約２倍となり、好況が続くと見込まれるデバイスメーカーに対し、長期にわたる製造装置の安定供給を可能にします。さらに、将来予想される４５０ミリウエハー対応製造装置の生産も可能なクリーンルームなど、次世代半導体への対応も視野に入れた設備を持つ、最新鋭の工場となっています。
当社は、今回の「Ｆａｂ．ＦＣ－２」の建設による生産能力の拡大により、バッチ式をはじめとするウエハー洗浄装置の需要増加に対応するとともに、半導体事業における競争力の強化を図り、さらなるシェアの拡大を目指します。
●Ｆａｂ．ＦＣ－２
（※ 関連資料を参照してください。）
＜ 新工場の概要 ＞
名 称 ： 彦根地区事業所「Ｆａｂ．ＦＣ－２（ファブ・エフシーツー）」
「Ｆａｂ．」は、Ｆａｂｕｌｏｕｓ（素晴らしい）およびＦａｂｒｉｃａｔｅ（造る）を、「ＦＣ」はＦｉｎｅ Ｃｌｅａｎｉｎｇ（ファイン洗浄）と主力製品の３００ミリウエハー対応洗浄装置「ＦＣ－３１００」を表しています。当社の新世代コンセプトの生産拠点として、ＩＴ技術を活用した設計・生産管理を目指します。
所在地 ： 滋賀県彦根市高宮町４８０－１
敷地面積 ： 約５，６００平方メートル
（彦根地区事業所の総敷地面積は約１４万４，３００平方メートル）
建築面積 ： 約５，２００平方メートル
延床面積 ： 約９，０００平方メートル
構 造 ： 鉄筋造 ３階建
総工費 ： 約３０億円
操業開始 ： ２００６年１１月
主な業務 ： ウエハー洗浄装置の生産（バッチ式洗浄装置、枚葉式洗浄装置など）