アジレント、パラメトリックテストによる歩留まり改善を実現した新テストシステムを発表
アジレント・テクノロジーが新しいパラメトリックテスタを市場に投入
半導体プロセスにおける迅速な量産歩留まり改善システムを提供
アジレント・テクノロジー株式会社（社長：海老原 稔、本社：東京都八王子市高倉町９番１号）は、より多くのＴＥＧ（Ｔｅｓｔ Ｅｌｅｍｅｎｔ Ｇｒｏｕｐ）を短時間で、高スループットで測定することにより、量産におけるパラメトリックテストによる歩留まり改善に貢献する新しいテストシステムを発表します。
今回発表の「Ａｇｉｌｅｎｔ Ｎ９２０１Ａ」を使うことで、「Ａｇｉｌｅｎｔ ４０７０」は従来の５倍となる最大４０チャンネルのパー・チャネル ＳＭＵ（ソース／モニタ・ユニット）に対応し、インライン・アレイＴＥＧの特性評価を非常に高速で行なうことが可能となる初の量産向けパラメトリックテスト・システムとなります。パー・チャネルＳＭＵ構造のほか、先進的なアレイ・マトリックス試験を可能にするアドレス生成機能も特長の一つとなっています。
９０ナノメートル以下のプロセスでは、量産ラインを迅速に立ち上げる必要のある半導体メーカにとって、テストにおける課題は増えつづけています。バックエンド（ＢＥＯＬ）およびインラインテストのいずれにおいても、量産段階において現実的なスピードでデータを収集し解析を行なうためには、従来以上の高スループットが必要になります。最大４０のＳＭＵに対応する「Ａｇｉｌｅｎｔ Ｎ９２０１Ａ」は、アレイＴＥＧにおける高スループット測定を実現します。これにより、歩留まりを最大化するための、プロセスパラメータを最適化するのに必要な時間を短縮することができます。
短期間で歩留まりを改善することは、９０ｎｍ以下のプロセスにおけるビジネス成功のカギとなっています。ウェハ製造において量産までの時間を短縮するためには、大量のパラメトリック・データが必要となります。当社が新たに開発した「Ａｇｉｌｅｎｔ Ｎ９２０１Ａ」が提供するこれまでになかったような測定機能によって、「Ａｇｉｌｅｎｔ ４０７０シリーズ」は、この重要な歩留まり改善段階におけるパラメトリックテストを効率的に行なうことができるようになります。
アジレント・テクノロジーでは今回発表の「Ａｇｉｌｅｎｔ Ｎ９２０１Ａ」を、２００６年１２月６日（水）から８日（金）にかけて幕張メッセで開催される半導体製造装置・材料に関する展示会「セミコン・ジャパン２００６」に出展します。
●アレイ・マトリックス試験
９０ナノメータ以下のプロセスにおける多層配線のメタル配線やビアは、歩留まり悪化の主要な原因となる場合があります。これまで、パッシブ型のアレイ・マトリックスをパラメトリックテスタで試験するのは、時間がかかりすぎることから、現実的ではありませんでした。「Ａｇｉｌｅｎｔ Ｎ９２０１Ａ」ではＳＭＵの数を増やし、パラレルテスト機能を搭載することによって測定速度を高めたことから、パッシブ型のアレイ・マトリックス試験を高スループットで行なうことができるようになりました。「Ａｇｉｌｅｎｔ Ｎ９２０１Ａオプション」により、従来のソリューションでは測定が難しいと考えられていた、抵抗アレイやアクティブ型マトリックス・アレイなど多くの測定が必要となるようなウェハの測定も可能となります。内蔵のアドレス生成機能とパー・チャネルＳＭＵにより、「Ａｇｉｌｅｎｔ Ｎ９２０１Ａ」はＢＥＯＬでのテストにおいて、配線やビアによる歩留まり悪化の効果的な特性評価を迅速かつ効率的に行なう環境を提供します。「Ａｇｉｌｅｎｔ Ｎ９２０１Ａ」がもつＳＭＵの正確な電圧・電流測定機能は、単純なオープン／ショート・テスタと比べて、より高精度の測定、データ収集を可能とします。
●Ａｇｉｌｅｎｔ ４０７０シリーズについて
「Ａｇｉｌｅｎｔ ４０７０シリーズ」は、量産におけるパラメトリックテストにおいて、今日必要とされる幅広いソリューションや価格帯の製品を提供しています。
「Ａｇｉｌｅｎｔ ４０７０シリーズ」は、現在の６５ｎｍプロセス技術におけるテストだけでなく、将来の６５ｎｍ以下のプロセスも見据えた、ＤＣおよびＲＦ測定機能を提供しています。「Ａｇｉｌｅｎｔ ４０７０シリーズ」の全製品は、フラッシュメモリのセルテスト、静電容量対電圧（ＣＶ）測定、リング・オシレータ評価をはじめとする、完全なＤＣパラメトリックテスト機能を有しています。さらに、全モデルとも、ＳＥＣＳ／ＧＥＭ互換の３００ｍｍ工場自動化環境と統合することが可能です。
●価格および出荷状況等
「Ａｇｉｌｅｎｔ ４０７０シリーズ パラメトリックテスト・システム」用の「Ａｇｉｌｅｎｔ Ｎ９２０１Ａ アレイストラクチャ・パラメトリックテスト・オプション」（８～４０ＳＭＵ構成）は、本日より受注を開始します。「Ａｇｉｌｅｎｔ Ｎ９２０１Ａオプション」の価格は、８ＳＭＵ構成の場合で、約１８００万円からです。
Ａｇｉｌｅｎｔ Ｎ９２０１Ａ アレイストラクチャ・パラメトリックテスト・オプションの高解像度画像は、 www.agilent.com/find/N9201A_image からダウンロードいただけます。
＜ お客様からのお問い合わせ先 ＞
計測お客様窓口 電話：０１２０－４２１－３４５
アジレント・テクノロジーについて
アジレント・テクノロジー（ＮＹＳＥ：Ａ）は、コミュニケーション、エレクトロニクス、ライフサイエンス、化学分析市場における世界のプレミア・メジャメント・カンパニーであり、またテクノロジー・リーダーでもあります。２００００名の従業員を擁し、１１０カ国以上でビジネスを展開しています。アジレントは、２００５年度、５１億ドルの売上高を達成しました。アジレント・テクノロジーの情報は、以下のウェブサイトでご覧ください。
http://www.agilent.co.jp