富士通とアドバンテスト、ＬＳＩ試作サービスの新会社「株式会社イー・シャトル」を設立
ＬＳＩ試作サービスの新会社「株式会社イー・シャトル」を設立
～電子ビームによる６５ｎｍウェハ直接描画を世界で初めて商用化～
富士通株式会社（代表取締役社長：黒川博昭、本社：東京都港区、以下 富士通）と株式会社アドバンテスト（代表取締役社長：丸山利雄、本社：東京都千代田区、以下 アドバンテスト）は、最先端ＬＳＩ試作サービスの新会社「株式会社イー・シャトル」（以下 イー・シャトル）を１１月１日に設立します。
イー・シャトルは、最先端の半導体プロセス技術と電子ビーム露光装置を組み合わせたウェハ直接描画（注）技術を活用し、２００７年４－９月期より６５ナノメートル（以下 ｎｍ）プロセスの新しいＬＳＩ試作サービスを提供します。
エレクトロニクス市場の多様化により、ますます機器開発のスピードアップが求められています。その中で、最先端の半導体プロセスによるシステムＬＳＩの開発においても、短期間で少量の試作チップを作製して、製品に組み込んで機能や性能の検証を行う必要性が増大しています。
これらの動向を踏まえ、今回設立するイー・シャトルでは、機器メーカー、研究機関、大学など幅広いお客様が、最先端の半導体プロセスを手軽に活用できる開発環境づくりを目指し、これまでよりも短期間で開発が可能な新たなＬＳＩ試作サービスを提供します。
イー・シャトルは、６５ｎｍおよび４５ｎｍ製造プロセスに対応する電子ビームによるウェハ直接描画（以下、直描）技術を開発します。この技術は、富士通の最先端半導体プロセス技術と、アドバンテストが１０月２４日に発表した電子ビーム露光装置「Ｆ３０００」とを組み合わせて実現するものです。イー・シャトルは、３００ｍｍウェハ、６５ｎｍプロセスにおける電子ビームによる直描技術を世界で初めて商用化します。
イー・シャトルは、この電子ビーム方式に加えて、従来富士通が展開してきた光露光方式による試作サービス「ＳｉＥｘｐｒｅｓｓ（ＴＭ）」（シリコンエクスプレス）を将来的に引継ぎ、お客様の多様なニーズに対応できる総合的なＬＳＩ試作サービスの展開を検討してまいります。イー・シャトルは、２００７年４－９月期に６５ｎｍプロセスの試作サービスを新たな開発環境としてお客様に提供し、さらに将来、４５ｎｍプロセスにも対応したサービスも予定しています。
【イー・シャトルの概要】
商号： 株式会社イー・シャトル
本店所在地： 神奈川県川崎市中原区上小田中４－１－１（富士通川崎工場内）
代表者： 取締役社長 土川春穂
（つちかわはるお、株式会社富士通研究所 取締役 兼 富士通 電子デバイス事業本部 副本部長）
資本金： 設立時１億円（２００７年度までの総出資額２５億円）
株主構成（出資比率）： 富士通（５５％）、アドバンテスト（４５％）
設立日： ２００６年１１月１日
事業内容：
６５および４５ｎｍにおける、電子ビームによるウェハ直描技術の開発。および半導体の試作サービスの構築と提供。
【注釈】
（注） ウェハ直接描画：電子を加速・収束してビーム状にしたものを用い、半導体デバイスの回路パターンなどをウェハ上に直接描画すること。
【関連リンク】
アドバンテスト 電子ビーム露光装置「Ｆ３０００」：
http://www.advantest.co.jp/products/F3000/index.shtml
以 上