アジレント、半導体製造部門など向け次世代パラメトリック・テスト・プラットフォームを発売
アジレント・テクノロジーが半導体製造部門や研究部門に向けた
次世代パラメトリック・テスト・プラットフォームを発表
新製品の４０８０シリーズにより、
ＲＦやフラッシュメモリを含むさまざまな測定ニーズに対応
アジレント・テクノロジー株式会社（社長：海老原 稔、本社：東京都八王子市高倉町９番１号）は、本日、半導体製造部門および研究開発部門における測定ニーズに対応した次世代のパラメトリック・テスト・プラットフォームを発表します。新製品のＡｇｉｌｅｎｔ ４０８０シリーズは、現行プロセスから４５ｎｍ以降の最先端プロセスまで、あらゆる測定ニーズに、これまでにない優れた性能で対応します。
最先端プロセスのウェハ工場では、いままでにも増して、測定項目や測定量の増大といった、パラメトリック・テスト上の課題に直面しています。また、成長著しいフラッシュメモリ（特にＮＡＮＤ型）でも、次世代デバイスに向けたパラメトリック・テストの課題を抱えています。そのため、パラメトリック・テストは、ＤＣ測定だけではなく、フラッシュメモリ・セルの書き込み／消去テスト、ＲＦ Ｓパラメータ評価、パラレルテストといったさまざまな測定にそのテスト領域を広げています。こうした状況を鑑み、当社は次世代の新しい測定ニーズに応える４０８０パラメトリック・テスト・プラットフォームを開発しました。
Ａｇｉｌｅｎｔ ４０８０シリーズの新しいプラットフォームは、高速なＣＰＵを採用し、スループットの大幅な改善につながる非同期および同期パラレルテスト機能を搭載しています。また、モジュール型で拡張性の高いテスト・プラットフォームとなっているため、ＮＡＮＤ／ＮＯＲフラッシュメモリ・セル評価機能やＲＦ Ｓパラメータ測定機能などを、必要に応じて後から追加することが可能です。４０８０シリーズには以下の３モデルがあります。
＊４０８２Ａ パラメトリック・テスト・システム （量産向け基本モデル）
＊４０８２Ｆ フラッシュメモリ・セル・パラメトリック・テスト・システム（フラッシュメモリ評価向けモデル）
＊４０８３Ａ ＤＣ／ＲＦパラメトリック・テスト・システム（先端ＲＦデバイス評価向けモデル）
アジレント・テクノロジー株式会社 代表取締役社長の海老原 稔は次のように語っています。
「４０８０シリーズは、お客様の次世代製品開発・製造における新しいパラメトリック・テスト・ソリューションになると考えています。また、拡大が続くＮＡＮＤフラッシュメモリ市場にも、量産対応ソリューションを提供します。」
■高速ＣＰＵと新しいＶｉｒｔｕａｌ Ｍｕｌｔｉｐｌｅ Ｔｅｓｔｈｅａｄ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙがスループットを改善
Ａｇｉｌｅｎｔ ４０８０シリーズは、業界最高の性能および機能と、業界初の先端技術の採用が特長となっています。高速ＣＰＵの採用により、既存モデルの４０７０と同じ測定を行なった場合、プログラムはそのままに、１０～２０％のスループットの改善が可能です。
Ａｇｉｌｅｎｔ ４０８０シリーズをＡｇｉｌｅｎｔ ＳＰＥＣＳ（半導体プロセス評価用テストシェル）と組み合わせることで、業界で初めて、非同期および同期パラレルテストの両方の実現を可能にしました。同期パラレル測定は、小規模に配列されたデバイスを測るのに効率的な測定手法です。Ａｇｉｌｅｎｔ ４０８０シリーズでは、同期パラレルに加えて、独自のＶｉｒｔｕａｌ Ｍｕｌｔｉｐｌｅ Ｔｅｓｔｈｅａｄ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙにより、「非同期パラレル」と呼ぶ、いままでにない新しいパラレルテストを実現しました。非同期パラレルテストでは、複数の異なるテストを独立して実行できるので、従来の手法と比べて最大５０％、測定時間を短縮することができます。
■同一アーキテクチャに基づく３モデル
Ａｇｉｌｅｎｔ ４０８０シリーズには、同じアーキテクチャがベースとなった全３モデルがあります。いずれのモデルも、標準の微小電流性能、もしくは超微小電流性能の２種類のスイッチング・マトリックスカード構成が選択可能です。また、１ｋＨｚ～２ＭＨｚの周波数範囲で高速な容量測定を実現する高速容量測定ユニット（ＨＳ－ＣＭＵ）も利用可能です。
Ａｇｉｌｅｎｔ ４０８２Ａ パラメトリック・テスト・システムは高スループットの量産向けテスト・システムで、現行プロセスから４５ｎｍ以降の先端プロセスまで、幅広い測定要求に対応しています。
Ａｇｉｌｅｎｔ ４０８２Ｆ フラッシュメモリ・セル・パラメトリック・テスト・システムは、半導体評価に特化した、半導体パルス・ジェネレータ・ユニット（ＳＰＧＵ）メインフレームと、高電圧ＳＰＧＵ（ＨＶ－ＳＰＧＵ）モジュールをシステムハードウェアに標準搭載した、業界初のフラッシュメモリ・セル・テスト向け量産対応パラメトリック・テスト・システムです。４０８２ＦのＨＶ－ＳＰＧＵは、±４０Ｖ（８０Ｖ ピーク・トゥ・ピーク）の高電圧出力と、最速２０ｎｓのパルスの立ち上がり／立ち下がり時間、最高２ｍＶまでの分解能で正確なパルスレベル制御が可能で、容易な最先端フラッシュメモリ評価を可能にします。
Ａｇｉｌｅｎｔ ４０８３Ａ ＤＣ／ＲＦパラメトリック・テスト・システムは、テストヘッドに２０ＧＨｚに対応した８×１０のＲＦマトリックスを搭載した業界初の量産向けパラメトリック・テスト・システムです。４０８３Ａは、１回のタッチダウンで最大５個のＲＦデバイスを測定できることから、測定スループットの改善が可能です、また、ウェハへのコンタクト回数を減らせることから、プローブカードの寿命を延ばすことができます。
４０８０シリーズの詳細は以下のウェブサイトでご覧いただけます。
http://www.agilent.co.jp/find/4080
■Ｌｉｎｕｘ対応と４０７０シリーズとの互換性により、投資コストを低減
Ａｇｉｌｅｎｔ ４０８０シリーズのシステムソフトウェア、および、Ａｇｉｌｅｎｔ ＳＰＥＣＳ、ＳＰＥＣＳ－ＦＡテストシェルはＬｉｎｕｘ上で動作します。既存の４０７０シリーズとの高い互換性により、お客様は既存プログラムをほとんど修正することなく４０８０シリーズに移行することができ、生産ラインの迅速な立ち上げが可能です。
■価格および出荷状況等
Ａｇｉｌｅｎｔ ４０８２Ａ、４０８２Ｆ、４０８３Ａは本日より受注を開始します。ベースモデルの４０８２Ａの価格は、約２，４００万円からです。
Ａｇｉｌｅｎｔ ４０８０シリーズの高解像度画像は以下のウェブサイトからダウンロー
ドいただけます。
http://www.agilent.com/find/4080_image
■お客様からのお問い合わせ先：
計測お客様窓口
電話：０１２０－４２１－３４５
＜アジレント・テクノロジーについて＞
アジレント・テクノロジー（ＮＹＳＥ：Ａ）は、コミュニケーション、エレクトロニクス、ライフサイエンス、化学分析市場における世界のプレミア・メジャメント・カンパニーであり、またテクノロジー・リーダーでもあります。１９，０００名の従業員を擁し、１１０カ国以上でビジネスを展開しています。アジレントは、２００６年度、５０億ドルの売上高を達成しました。アジレント・テクノロジーの情報は、以下のウェブサイトでご覧ください。
http://www.agilent.co.jp