電気化学工業、超高純度モノシランガスの生産能力増強で約４８億円投資
超高純度モノシランガスの能力増強について
電気化学工業（社長：川端世輝）とエア・リキードグループ（日本法人：日本エア・リキード株式会社、会長兼社長：Ｊｅａｎ－Ｐｉｅｒｒｅ ＤＵＰＲＩＥＵ）は、当社青海工場内にあるデナールシラン株式会社（社長：川端世輝）で生産する超高純度モノシランガスの能力増強を決定いたしました。
デナールシラン株式会社は１９８７年１０月に当社とエア・リキードグループとの合弁会社として設立され、今年で２０年を迎えます。同社は超高純度が要求される半導体、液晶ＴＦＴ、感光ドラムなどのデバイス製造用ガスとして用いられるモノシランガス製造のリーディングカンパニーとして市場をリードして参りました。近年、半導体、液晶ＴＦＴの市場の伸びに伴い、モノシランガスの需要は年率２０％を超える大幅な増加となっています。さらに今後は、太陽電池用途への需要拡大も期待されております。
このような状況のなか、当社では、現状年産３００トンの能力を５００トン以上に増強し、２００９年以降の需要に対応し供給責任を果たすことといたしました。
１．設備増強の概要
事業所 電気化学工業青海工場内デナールシラン株式会社
能力 ５００トン／年以上（＋２００トン以上）
完成時期 ２００８年１１月予定
投資総額 約４８億円（エア・リキードグループでの関連設備も含む）
※以下の項目については添付資料をご参照下さい。
２．デナールシラン株式会社の概要
３．電気化学工業株式会社の概要
４．エア・リキードグループの概要
５．日本エア・リキードの概要
【ご参考】
モノシランガスとは
化学式： ＳｉＨ４
性状： 分子量３２．０９、無色・不快臭の気体。
融点－１８５℃、沸点－１１２℃、室温で発火。
用途： シリコンのエピタキシャル成長、ポリシリコン、酸化シリコン、窒化シリコンなどの原料。半導体用特殊ガスの中では最も多量に使用されている。