日立ハイテク、独社と共同開発した球面収差補正機能搭載の新形走査透過電子顕微鏡を発売
新形走査透過電子顕微鏡「ＨＤ－２７００形」を発売
－球面収差補正機能を搭載し高分解能観察を実現－
株式会社日立ハイテクノロジーズ（執行役社長：林 將章／以下、日立ハイテク）は、ドイツＣＥＯＳ社（ＣＥＯＳ ＧｍｂＨ、社長：Ｄｒ． Ｍａｘｉｍｉｌｉａｎ Ｈａｉｄｅｒ）と共同で、球面収差補正機能を搭載した新形の走査透過電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）（＊１）「ＨＤ－２７００形」を開発し、９月１日より発売します。
日立走査透過電子顕微鏡ＨＤシリーズは、物質表面と内部の微細構造を観察するだけでなく、特性Ｘ線（ＥＤＸ）（＊２）やエネルギーフィルター（ＥＥＬＳ）（＊３）による各種元素分析（オプション）を行う多機能分析電子顕微鏡として、ナノテクノロジー分野における研究・開発や品質管理など多方面で活用されています。特に、半導体分野における分析・測長・できばえ評価においては、その操作性の良さと解析精度の高さから高い評価を受けています。
また、試料のサンプリング・加工を行う日立ＦＩＢ（ＦＢ－２１００形）とのシステム化により、日立マイクロサンプリング法（日本国特許：２７７４８８４、米国特許：５２７０５５２）による試料前処理から観察・解析まで一貫した工程を組むことが可能で、高スループット化を実現しました。
ＨＤシリーズは、最先端の研究開発から生産現場における評価解析まで幅広いニーズにお応えします。
今回開発した「ＨＤ－２７００形」は、ＨＤシリーズのハイエンドマシーンとして開発され、電子顕微鏡の性能上の制約となっていた球面収差を補正し、高分解能観察（従来機比約１．５倍）、高感度分析（プローブ電流約１０倍以上）を可能としました。
従来、ＨＤシリーズで好評をいただいていたＳＥＭ感覚のＧＵＩ（グラフィカル・ユーザー・インターフェース）や初心者でも簡単に使用できる各種自動調整機能も搭載されています。また、ナノ領域の分析に適応した試料汚染防止機能の強化と電子光学系安定度の向上を施し、昨今のデバイス開発の微細化に伴う寸法管理に威力を発揮する高精度倍率校正機能（オプション）も新たに搭載可能となりました。ＥＤＸ・ＥＥＬＳ（いずれもオプション）については各社の装置が搭載可能で、これまで蓄積されてきたデータ相関性や操作性を損ないません。
本体標準価格は２億８千万円。出荷開始は２００６年１２月の予定で、初年度５台の受注を見込んでいます。日立ハイテクは、９月３日（日）から９月８日（金）まで札幌コンベンションセンターにて開催される「国際顕微鏡学会ＩＭＣ１６」において同機の実機展示を行う予定です。
（＊１）ＳＴＥＭ：Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ（走査透過電子顕微鏡）
（＊２）ＥＤＸ：ｅｎｅｒｇｙ ｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅ Ｘ－ｒａｙ ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ（エネルギー分散型Ｘ線元素分析器）
（＊３）ＥＥＬＳ：ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｅｎｅｒｇｙ－ｌｏｓｓ ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ（電子エネルギー損失分光器）
走査透過電子顕微鏡「ＨＤ－２７００形」
【主な仕様】（＊添付資料参照）
【主な特長】（＊添付資料参照）
走査透過電子顕微鏡「ＨＤ－２７００形」
（※製品画像あり）
■お問い合わせ先
半導体製造装置営業統括本部
先端製品営業本部 アプリケーション技術部
ＴＥＬ：０３－３５０４－５９５４