東芝ソリューション、半導体・液晶製造工程向けマルチプラットフォーム対応版を商品化
東芝ソリューション、半導体・液晶製造工場に向けＲｅｃｉｐｅＷｉｚａｒｄ（Ｒ） ＥＸを商品化
～ マルチプラットフォーム対応で規模に応じた拡張が可能に ～
東芝ソリューション株式会社（本社：東京都港区、取締役社長：梶川茂司）は、半導体・液晶製造工程でのレシピ（＊１）を管理するシステムＲｅｃｉｐｅＷｉｚａｒｄ（Ｒ） （レシピ ウィザード）のマルチプラットフォーム対応版 ＲｅｃｉｐｅＷｉｚａｒｄ（Ｒ） ＥＸを商品化、２００７年２月より販売を開始します。
半導体・液晶製造業界では設備や材料の価格が増大、その回収の為に装置稼働率の向上が求められています。このため、従来は個々の装置毎に管理していたレシピをホストで一元管理しオンラインで装置に反映させることにより、レシピ管理のための装置の拘束時間を減少させることができる「レシピ管理システム」の必要性が高まっています。
ＲｅｃｉｐｅＷｉｚａｒｄ（Ｒ）は半導体・液晶製造工程に関わる装置のレシピデータをデータベースで管理します。レシピデータをホストで管理することで他システムとの連携が容易となり、ユーザニーズを反映した生産システム構築を可能にします。また、「マスタ情報を用いた半導体装置レシピデータ構造の汎用定義機能」（特許出願中）により、異なった機種、装置のレシピデータも一元的に管理することができます。
従来、ＲｅｃｉｐｅＷｉｚａｒｄ（Ｒ）はＵｎｉｘサーバーでのみ稼動可能でしたが、ＲｅｃｉｐｅＷｉｚａｒｄ（Ｒ） ＥＸ ではＷｉｎｄｏｗｓサーバーでも稼動するようになります。これに併せライセンス形態も見直し、システムの初期導入コストを抑え、規模に応じ拡張していくことを可能にします。
東芝ソリューションでは、今後３年間でＲｅｃｉｐｅＷｉｚａｒｄ（Ｒ）およびＲｅｃｉｐｅＷｉｚａｒｄ（Ｒ） ＥＸ １０セットの販売を見込みます。
なお、東芝ソリューションは、ＲｅｃｉｐｅＷｉｚａｒｄ（Ｒ） ＥＸを、１２月６日（水）から８日（金）まで幕張メッセで開催されるＳＥＭＩＣＯＮ Ｊａｐａｎ ２００６（セミコン・ジャパン２００６）に出展します。
以 上
（＊１）レシピ：半導体・液晶製造装置に与えられる、処理方法やパラメータ（温度や圧力など）を指定するデータの集まり。
＊ＲｅｃｉｐｅＷｉｚａｒｄは東芝ソリューションの登録商標です。
＊Ｗｉｎｄｏｗｓは、米国Ｍｉｃｒｏｓｏｆｔ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎの米国及びその他の国における登録商標または商標です。
＜お客様からのお問合せ先＞
東芝ソリューション株式会社：半導体・液晶エンジニアリング事業部
ＣＩＭシステム営業担当
ＴＥＬ：０４４－２４６－４１７０
Ｍａｉｌ：sales.sl@toshiba-sol.co.jp
ＵＲＬ：http://www.toshiba-sol.co.jp/pro/204.html