ＳＴマイクロとＳＡＥＳ、次世代ＭＥＭＳジャイロスコープ開発・生産とサポートで共同事業
ＳＡＥＳ（Ｒ） ＧｅｔｔｅｒｓとＳＴマイクロエレクトロニクスが、
多軸ＭＥＭＳジャイロスコープ向けテクノロジーの統合を発表
ＳＴのナノ・スケールのジャイロスコープが、
ＳＡＥＳの高真空度維持用ゲッター・フィルム・テクノロジーによって、
感度の向上と動作の安定性増大を実現
高真空度アプリケーションでのゲッター技術に関して世界トップクラスのＳＡＥＳ（Ｒ） Ｇｅｔｔｅｒｓグループ（以下ＳＡＥＳ）と、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ－Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ）デバイスの製造・販売において世界トップクラスのＳＴマイクロエレクトロニクス（ http://www.st-japan.co.jp/ 、ＮＹＳＥ：ＳＴＭ、以下ＳＴ）は、次世代ＭＥＭＳジャイロスコープの開発と生産をサポートする共同事業契約を締結しました。ＭＥＭＳのウェハー・レベル・パッケージングでの高真空度維持において最も先進的なゲッター薄膜ソリューションであるＳＡＥＳのＰａＧｅＷａｆｅｒ（Ｒ）をＳＴのジャイロスコープに適用することによって、デバイスの感度と安定性の向上を実現します。
ＭＥＭＳベースのＩＣは、シリコンが持つユニークな電気的特性と優れた機械的特性の両方を活用することによって、半導体産業に大変革を起こしています。
シリコンの電気的特性は過去４０～５０年にわたって半導体事業の基盤となってきましたが、シリコンの機械的特性が活用されるようになったのは比較的最近のことであり、ＭＥＭＳジャイロスコープは、中でも最新の領域です。これらの新しいジャイロスコープ（角速度を測定するデバイス）は、ＳＴの２軸および３軸ＭＥＭＳ加速度計の製品群を補完するとともに、完璧な慣性センサ・プラットフォームをユーザに提供します。小型、高感度、および低消費電力が組み合わさったＳＴのＭＥＭＳジャイロスコープによって、携帯電話、ポータブル・デバイス、ＭＰ３／ＭＰ４プレーヤ、ＰＤＡ、ゲーム機、ナビゲーション・デバイスなど幅広いコンスーマ・アプリケーションにおいて新たな機能を可能にします。
ＳＴでは、２００８年前半にジャイロスコープの量産を立ち上げる予定です。
ジャイロスコープ市場は、複数のアプリケーション分野において急速に成長しています。自動車の電子式スタビリティ・システムやＧＰＳレシーバに加えて、ポータブル通信デバイスのモーション・ユーザ・インタフェースやビデオ・カメラ／デジタル・カメラのイメージ・スタビライザを含むコンスーマ分野でもＭＥＭＳジャイロスコープが立ち上がると業界アナリストは予言しています。
アナリストの予想では、ＭＥＭＳジャイロスコープの市場規模は、２００６年の４億ドルから２０１２年には１２億ドル以上へ成長し、今後５年間で３倍になると予測されています。
２００６年１１月、ＳＴはアグラテ工場（イタリア・ミラノ近郊）にＭＥＭＳデバイス専用の新しい最先端２００ｍｍ（８インチ）半導体ウェハー生産ラインを落成しました。
ＳＴの第１世代ジャイロスコープは、現在パイロット生産と品質評価が行われており、リニア加速度センサと同じラインで製造されることになります。
ＳＡＥＳは、最近リナーテ（イタリア、ミラノ郊外）本社にあるＰａＧｅＷａｆｅｒの生産ラインをアップグレードし、すでに利用可能な４、５、および６インチ・フォーマットの処理に加えて、８インチ・フォーマットにも対応しました。
ＳＡＥＳの８インチ・フォーマットの処理ラインは２００６年末の時点で産業用向けに完全な量産稼働体制に入っており、すでにＳＴの８インチ・ウェハに使用されています。
ＰａＧｅＷａｆｅｒは、ウェハとウェハを密封ボンディングしたＭＥＭＳデバイス内の真空度または不活性ガスの長期的安定性を保証するために、ＳＡＥＳ Ｇｅｔｔｅｒｓグループによって設計されたものです。パターンを持っている数ミクロン厚のゲッター・フィルムで構成され、ユーザの要件に従って形状と深さを定義された特定のキャビティ上に配置されます。ＭＥＭＳパッケージのキャップ・ウェハとして動作することによって、ＰａＧｅＷａｆｅｒはＨ２Ｏ、Ｏ２、ＣＯ、ＣＯ２、Ｎ２、およびＨ２といったすべての活性ガスを最大限吸収し、デバイスの信頼性と寿命を増大させます。８インチ・ウェハ・フォーマットのような大型基板にゲッター・フィルム技術を適用することのメリットは、圧力分布の均一性向上と、プロセス時間の大幅な短縮です。ＰａＧｅＷａｆｅｒテクノロジーの提供に加えて、ＳＡＥＳは気密パッケージ設計 ／ 特性評価、真空度要件定義にまで及ぶ技術コンサルティング、およびアウトガス ／ 残留ガス分析サービス提供の面でもＳＴに対するサポートを行います。
ＳＡＥＳのＭＥＭＳ用ゲッター事業開発マネージャであるＭａｒｃｏ Ｍｏｒａｊａ氏は次のようにコメントしています。「当社は、ＳＴのような、ＭＥＭＳ市場における主要メーカーとパートナーシップを構築することを非常に嬉しく思っています。当社では、コンスーマ・エレクトロニクス分野のＭＥＭＳモーション・センサの市場の開拓を、最も重要な目標の１つとして考えています。ＳＴの先端ＭＥＭＳジャイロ・スコープにＰａＧｅＷａｆｅｒテクノロジーが統合されるということは、要求の厳しい自動車産業を含め、既に我々が対応しているＭＥＭＳアプリケーションへのゲッター・フィルム製品の高い有用性を示しています。」
ＳＴのＭＥＭＳ製品部門ジェネラル・マネージャであるＢｅｎｅｄｅｔｔｏ Ｖｉｇｎａは次のようにコメントしています。「ＳＴは、ＳＡＥＳ Ｇｅｔｔｅｒｓグループのような業界リーダーとのパートナーシップにおいて長い成功の歴史があります。ＳＡＥＳのゲッター・フィルム・テクノロジーにおける専門性をＳＴの業界をリードするＭＥＭＳテクノロジーに統合することによって、ユーザは最高品質のＭＥＭＳジャイロスコープを入手できることが保証され、ＳＴは急成長中のＭＥＭＳビジネスをさらに拡大することができます。」
ＳＡＥＳ Ｇｅｔｔｅｒｓグループについて
サエス・ゲッターズ グループは、ゲッター・テクノロジーのパイオニアとして、超高真空や超高純度ガスが要求される各種科学・産業アプリケーション分野において世界のリーダーを務めています。当グループのゲッター・ソリューションは、過去６０年間にわたり、情報表示装置やランプ産業、大型バキュームパワーチューブからシリコンベースのマイクロメカニカル装置の極小化、そして超高真空システムや真空断熱技術にいたる数々分野で、その技術革新を支援してきました。また、当グループは、半導体とその他ハイテク産業向け超高純度ガス取扱技術のリーダーでもあります。２００４年からは、特殊冶金および材料科学の中核技術を一層強化して、新しい光学結晶および形状記憶合金製品ラインの分野に事業を拡大しています。当グループは、３大陸にまたがる１０工場の総生産能力と世界規模の販売サービスネットワークを有し、９００名近い従業員の多文化能力と知識を結合する真のグローバル企業となりました。サエス・ゲッターズ グループは、イタリアのミラノ郊外のリナーテ（Ｌｉｎａｔｅ）にグループ本社を置いており、１９８６年からイタリア株式取引所ＳＴＡＲセグメントに上場しています。
詳細については http://www.saesgetters.com をご覧ください。
ＳＴマイクロエレクトロニクスについて
ＳＴマイクロエレクトロニクスは、多種多様な電子機器向けに半導体製品やソリューションを開発・提供する世界的な総合半導体メーカーです。ＳＴは、他社の追随を許さない高度なシリコン技術とシステムノウハウを擁しており、幅広いＩＰ（Ｉｎｔｅｌｌｅｃｔｕａｌ Ｐｒｏｐｅｒｔｙ）ポートフォリオ、戦略的パートナーシップ、大規模な製造力との組合わせにより、ＳｏＣ（システム－オン－チップ）技術に関し世界的リーダーとしての地位を確立しています。またＳＴの半導体製品は、市場における技術やシステムのコンバージェンス化を促進するために重要な役目を果たしています。ＳＴは、ニューヨーク証券取引所（ＮＹＳＥ：ＳＴＭ）、パリ証券取引所（Ｅｕｒｏｎｅｘｔ Ｐａｒｉｓ）とミラノ証券取引所に上場されています。
２００６年の売上は９８．５億ドルで、純利益は７億８２００万ドルでした。
さらに詳しい情報はＳＴのホームページをご覧ください。
ＳＡＥＳ Ｇｅｔｔｅｒｓグループ － 見込み情報について
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