トッキ、パラレルショット蒸発源を搭載した大型基板用有機ＥＬ量産製造装置を開発
大型基板用有機ＥＬ量産製造装置完成のお知らせ
当社は、当社独自開発によるパラレルショット(Ｒ)蒸発源を搭載した、大型基板用有機ＥＬ量産製造装置を開発しましたのでお知らせいたします。この装置により、有機ＥＬテレビなどの有機ＥＬディスプレイの大画面化や低製造コスト化を実現することができます。
詳細は以下の通りです。
記
１．大型基板用有機ＥＬ量産製造装置の特徴（有機ＥＬディスプレイ用）
（ア）装置形態：
１）パラレルショット(Ｒ)蒸発源を搭載したクラスター型量産製造装置蒸着から封止工程の一貫生産が可能です。
２）常に蒸着レート制御を安定化することができ、蒸着レートと高精度の膜厚分布を得ることが出来ます。
３）パラレルショット(Ｒ)蒸発源は熱設計の最適化で、熱変化や熱管理が難しい有機材料でも長時間安定した蒸着が可能です。
（イ）基板サイズ：
第３世代（５５０×６５０ｍｍ）～第３．５世代（６００×７２０ｍｍ）
※蒸着源ラインを増設することで拡張性を持つ構造となっております。
（ウ）材料使用効率：
約１５～２０％（量産装置では最高レベルを達成）
※従来当社装置の２～４倍程度。有機材料、成膜条件などにより前後します。
（エ）タクトタイム：
約３．５～４分（大型基板では最高速）
※タクトタイムとは、量産機にガラス基板を投入して、完成した基板が装置から排出される時間のことを指します。
２．今後の見通し
今後はこの量産製造装置を販売してまいります。なお、現時点では業績予想の修正はございません。
３．今回開発装置の適用範囲
（ア）携帯ツール用フルカラー有機ＥＬディスプレイ
携帯電話のメインディスプレイなど、アクティブ基板を用いた２インチクラスの有機ＥＬディスプレイの量産製造装置に適用。大型基板を用い製造コストを下げることができます。
（イ）１０インチ以上の大画面有機ＥＬテレビ
ＲＧＢ塗り分け方式、あるいは白色＋カラーフィルタ方式などのアクティブ基板を用いた有機ＥＬテレビの量産製造に適用できます。
（ウ）有機ＥＬ照明
大面積成膜により有機ＥＬ照明への適用も可能です。タクトタイムや材料使用効率はディスプレイ製造用の仕様ですが、仕様の変更により照明用として生産性を向上することが可能です。
（エ）フレキシブルディスプレイ
先に発表したＧＥ社との共同開発によるＰＥ－ＣＶＤ膜封止装置と合体させることで、将来的にフレキシブル基板への成膜から封止までの一貫製造装置が可能になります。
以 上
【ご参考】大型基板用有機ＥＬ量産製造装置（一部）
（※添付資料を参照）